美国Teledyne API紧凑型高纯度臭氧输送系统Mini ODS

产品介绍

 

产品名称: Teledyne API紧凑型高纯度臭氧输送系统Mini ODS

型号系列:Mini ODS

品牌:Teledyne API

产地:美国

价格:成交价格需联系客服

订货号:Mini ODS

Teledyne API紧凑型高纯度臭氧输送系统Mini ODS概述:

 Mini ODS是紧凑但完整的臭氧输送系统，能够为许多晶元处理应用提供浓度高达 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。该系统虽然使用紧凑型设计，却是一个完整的臭氧输送系统，包含：高浓度臭氧发生器、高浓度臭氧监测仪、基于微处理器的控制器和满足全部要求的调节器和气动装置。

Mini ODS能够拓展支持额外的独立流程臭氧发生器，这些流程可需求不同浓度和不同流量的臭氧。该仪器操作和维护简单，不需求消耗品或预防性维护。该系统也能与通常湿法工艺中需求的溶解臭氧监分析仪交互。为了更加安全，该系统也能与TAPI的多通道臭氧泄露探测仪和臭氧破坏器子系统联锁。​

Teledyne API紧凑型高纯度臭氧输送系统Mini ODS特征:

设计紧凑

生产浓度超过21% w/w的臭氧

19"机架固定或放置在桌面

价格低，无消耗品

完全整合的方案包括:

高纯度臭氧发生器

高浓度臭氧分析仪

闭环伺服控制器

氧气质量流量控制器

氮气质量流量控制器

背压调节器

电气转移阀

Teledyne API紧凑型高纯度臭氧输送系统Mini ODS应用:

半导体

化学气相沉积 (CVD)

原子层沉积 (ALD)

氧化物生长

表面处理

颗粒清洁

光刻胶去除

灰化

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